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详细介绍
含氟电子气分析用氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化*项目。
氟的技术指标：
| 项目 | 指标 | |
| 氟（F2）（体积分数）/10-2 | ≥ | 99 |
| 氧（O2）+氮（N2）（体积分数）（N2）/10-2 | ≤ | 0.45 |
| 四氟化碳（CF4）（体积分数）/10-2 | ≤ | 0.05 |
| 氟化氢（HF）（体积分数）/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合气的技术指标：
| 项目 | 指标 | |
| 氟（F2）（体积分数）/10-2 | 20 | |
| 氮（N2）（体积分数）（N2）/10-2 | 80 | |
| 氧（O2）（体积分数）（N2）/10-2 | ≤ | 0.08 |
| 四氟化碳（CF4）（体积分数）/10-2 | ≤ | 0.03 |
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