GC-9560-HG高纯氧分析氦离子色谱仪适用于高纯氧气中痕量杂质的检测，Z小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司*的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量*。产品先后荣获上海市成果转化*项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。

GC-9560-HG高纯氮分析氦离子色谱仪适用于高纯氮中的H2、O2、Ar、CH4、CO、CO2等杂质的检测，仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司*的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，Z小检测浓度可达5ppb。

GC-9560-HG高纯氨分析氦离子色谱仪适用于高纯氨中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化*项目

高纯二氧化碳分析氦离子色谱仪用于高纯二氧化碳中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司*的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量*。产品先后荣获上海市成果转化*项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。

GC-9560-HG硅烷分析氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，Z小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司*的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量*。产品先后荣获上海市成果转化*项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。

PDHID对硅烷中气体杂质检测限（ppb） H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50 50 50 50 20 20 20 20 50